ПРОГРАМНО-АПАРАТНИЙ АВТОМАТИЗОВАНИЙ КОМЛЕКС УПРАВЛІННЯ ФОРМУВАННЯМ ПОРУВАТОГО ШАРУ НА НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛАСТИНАХ

- Притчнн, С. Е (orcid.org/0000-0002-9931-1591), Бобришев, О. Ю. (orcid.org/0000-0002-1400-6177), Сорокун, О. О. (orcid.org/0000-0001-7208-2680), Жуматій, Т. С. (orcid.org/0000-0001-9637-3079) and Пилипенко, С. С. (orcid.org/0000-0002-6851-0838) (2021) ПРОГРАМНО-АПАРАТНИЙ АВТОМАТИЗОВАНИЙ КОМЛЕКС УПРАВЛІННЯ ФОРМУВАННЯМ ПОРУВАТОГО ШАРУ НА НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛАСТИНАХ Вісник КрНУ імені Михайла Остроградського, 6 (131). pp. 128-132. ISSN 1995–0519

Text (В роботі запропоновано програмно-апаратний комплекс управління формуванням поруватого шару на напівпровідникових пластинах) ПРОГРАМНО-АПАРАТНИЙ АВТОМАТИЗОВАНИЙ КОМЛЕКС УПРАВЛІННЯ ФОРМУВАННЯМ ПОРУВАТОГО ШАРУ НА НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛАСТИНАХ.pdf - Published Version Download (582kB)

Abstract

В роботі запропоновано програмно-апаратний комплекс управління формуванням поруватого шару на напівпровідникових пластинах. Досліджувалися режими травлення монокристалічного кремнію постійним струмом, режим, який традиційно використовується для отримання пористого шару, та імпульсним струмом. У результаті досліджень з використанням спектрів фотолюмінесценції встановлено, що при травленні імпульсним струмом, поруватий шар виходить більш рівномірним. Цей ефект пояснюється тим, що при використанні імпу-льсного струму в процесі травлення під час нульової фази імпульсу більш інтенсивно руйнується оксидний шар, а кидок струму під час початку одиничної фази імпульсу сприяє видаленню із зони травлення оксидів. Для уп-равління процесом травлення розроблено структурну схему комплексу, запропоновано алгоритм та програмну реалізацію в середовищі програмування LabView. Комплекс контролює технологічні параметри процесу трав-лення і дозволяє формувати необхідний вид струму травлення. В результаті експериментів встановлено коефіці-єнт заповнення імпульсів струму такий що дорівнює 80%, який замечує найбільш рівномірний шар.

Item Type:	Article
Keywords:	поруватий кремній, імпульсний струм, фотолюмінесценція, автоматизований комплекс
Subjects:	Science and knowledge. Organization. Computer science. Information. Documentation. Librarianship. Institutions. Publications > 6 Applied Sciences. Medicine. Technology > 62 Engineering. Technology in general
Divisions:	Institute for Digitalisation of Education > Experimental laboratory
Depositing User:	професор Сергій Притчин
Date Deposited:	28 Oct 2023 16:44
Last Modified:	28 Oct 2023 16:44
URI:	https://lib.iitta.gov.ua/id/eprint/737314

Downloads

Actions (login required)

View Item